MEMS與微系統(tǒng):設計、制造及納尺度工程(第二版)簡介，目錄書摘
同時從電子與機械兩個層面介紹MEMS的相關(guān)技術(shù)。
更大篇幅地介紹了微加工技術(shù)以及組裝與封裝技術(shù)。
介紹了微陀螺、微型麥克風與熱管的原理。
作者在本書中首先對納米技術(shù)的發(fā)展歷史做了一個簡要的回顧，然后對各種納米結(jié)構(gòu)在工程設計方面的基本原理做了詳細的介紹，包括形成納米結(jié)構(gòu)的制造技術(shù)、基于分子動力學的工程設計原理以及納尺度材料中的流體流動與熱傳導特性等。
許軍，男，研究員，清華大學微電子學研究所所長。1963年6月生于安徽合肥，1986年畢業(yè)于清華大學無線電電子學系半導體器件與物理專業(yè)，獲工學學士學位，后分別于1989年和1994年在航天工業(yè)部771研究所計算機器件與設備專業(yè)獲工學碩士學位和工學博士學位，1994年至1996年在清華大學微電子學研究所電子學與通信博士后科研流動站從事超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的基礎研究工作，1997年在清華大學微電子學研究所晉升為副研究員，1997至1999年在美國新奧爾良大學先進材料研究所固體器件研究組做訪問學者，1999年回國后繼續(xù)在清華大學微電子學研究所集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗線工作，2002年晉升為研究員。
徐泰然（Tai-Ran Hsu）教授主要從事微機電系統(tǒng)的設計、制造和封裝技術(shù)的教學與科研工作，在MEMS系統(tǒng)和納米系統(tǒng)的熱力學及有限元和CAD技術(shù)方面的研究取得了具有國際影響的學術(shù)成績，先后出版了《MEMS 封裝技術(shù)》、《MEMS與微系統(tǒng)的設計和制造》5本專著，編著2本著作。在“Advances in Electronic Packaging”、“Semiconductor International”和“Sensors and Actuators”等學術(shù)刊物上發(fā)表了學術(shù)論文120多篇，并多次被邀請在微納米技術(shù)和微機電技術(shù)國際會議上作大會報告，在國際微納米技術(shù)領(lǐng)域享有很高的學術(shù)聲譽。特別是在MEMS技術(shù)的教育方面做出了很大的貢獻。
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